序   号

主要配置

NBD-103(A)系统

NBD-103(B)系统

1

机械泵

抽气速率：4L/S

电机功率：400W

极限压强6X10-2Pa

抽气速率： 6L /S

电机功率： 5 00W

极限压强6X10-2Pa

2

分子泵参数

抽气速率：100L/S

极限压强：6X10-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：43 0 00转/分

冷却方式:：风冷/水冷

抽气速率： 6 00L/S

极限压强：6X10-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速： 270 00转/分

冷却方式:：风冷/水冷

3

分子泵控制电源

电压：200~240V

输出功率：250W

加速时间：3分钟

输出频率：高速704Hz±10%

      低速430 Hz±10%

电压： 380 ~ 41 0V

输出功率： 40 0W

加速时间：3分钟

输出频率：高速704Hz±10%

      低速430 Hz±10%

4

复合真空计

工作电电压：

220V  50~60HZ

电阻规阻值：约85 欧

自动保护（电离）>10Pa

电离规管测量范围：100~1010 -5 Pa

电阻规管测量范围：10 5  ～10 -1  pa

工作电电压：

220V  50~60HZ

电阻规阻值：约85 欧

自动保护（电离）>10Pa

电离规管测量范围：100~1010 -5 Pa

电阻规管测量范围：

10 5  ～10 -1  pa

5

高真空手动隔断阀

采用氟胶圈密封，快卸法兰接口，漏率达5X10-9 Pam3/s

采用氟胶圈密封，快卸法兰接口，

漏率达5X10-9 Pam3/s

6

103(B)真空系统连接管路

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/s